iSE
de la Woollam Co.
iSE este un nou spectroelipsometru dezvoltat pentru monitorizarea in timp real a procesarii filmelor subtiri. Beneficiind de o tehnologie vperformanta, validata, iSE permite utilizatorilor optimizarea proprietatilor filmelor depuse, controlul grosimii lor (sensibilitate mai buna de 1 Angstrom), precum si monitorizarea cineticii de crestere.
| Features |
|---|
| In-situ |
| Dual rotating element "Ellipsometer" |
| Small and compact |
| Affordable |
| High measurement speed |
| Easy-to-use |
Aproape toate investigatiile in-situ necesita folosirea elipsometriei spectroscopice; pentru cele mai multe dintre ele un domeniu spectral cuprins intre 400 si 1000 nm (precum cel oferit de iSE) este mai mult decat sufficient, fara a face rabat asupra preciziei. Datorita design ului compact, iSE poate fi instalat inclusive pe cele mai complexe camera de depunere, unde spatial disponibil poate fi o problema. Viteza mare de masura permite monitorizarea proceselor rapide de crestere, fiind realizat in acelasi timp un control in timp real al procesului prin legatura stabilita intre softul CompleteEase si echipamentul de control al camerei de depunere.
Domeniul spectral: 400 nm to 1000 nm
Numarul de lungimi de unda (masuratori simultane): 190
Detector: CCD
Viteza de achizitie: 0.3 secunde (cea mai rapida); 1 – 2 secunde (tipic)
Diametru fascicul: aproximativ 3 mm
Cerinte pentru camera “in situ”: diametru port de 2.75” CF (optional, 1.33” CF); unghiul tipic (de incidenta): 60-75 grade, masurat fata de directia normal pe suprafata probei
Determining of thin film thickness of single and multi layers
Optical constants
Growth and etch rates
Process kinetics
Surface quality before and after processing
Real-time end-point detection
ALD, CVD, MBE, sputter, etc.
